技术编号:34117174
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光电子器件技术领域,具体地涉及一种基于双微环谐振器的测量方法以及一种双微环谐振器。背景技术.随着物联网技术和自动控制技术的发展,人们对于实时监测的需求越来越多,例如对于温度,湿度,浓度,压力,气体,以及各种生物分子的检测。随着半导体材料和制作工艺的进步,基于半导体材料的各种各样的传感器被研制出来。.现有的微环谐振器可以利用直波导中的te波激发环形谐振器的te波和tm波,可以同时实现折射率和温度的测量,但是这种方法需要进行分别进行两次测量,无法实现微环谐振器对待物理量的实时响应。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。