技术编号：34135818
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及大抽速罗茨泵，具体一种大抽速罗茨泵的密封结构。背景技术.罗茨泵是一种变容积真空泵，靠泵腔内一对字形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气。通常压缩比很低，固需配前级泵使用。随着工业的发展需求，现在越来越多的罗茨真空泵随前级泵一起广泛应用于半导体、光伏、真空镀膜等行业。根据不同行业生产工艺的要求，对罗茨真空泵的密封要求越来越高。.现有罗茨泵密封结构虽然能满足简单工况使用，但对于恶劣工况或要求较高的场合都会出现使用寿命短、密封不彻底、容易漏油等现象，从而失去了所谓干...
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