技术编号：34154967
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种探针台及igbt芯片测试系统技术领域.本发明涉及半导体器件测试技术领域，具体涉及一种探针台及igbt芯片测试系统。背景技术.随着近年来我国交直流输电工程的稳步推进，高压大功率电力电子器件得到了快速发展。拥有电压控制、高输入阻抗、低驱动功率、低导通电阻、低开关损耗及高工作频率等优点的绝缘栅双极型晶体管(igbt)在工业界得到了广泛应用。与此同时拥有更高的临界击穿场强、更好的热传导性能、更小的导通电阻、更高的电子饱和速度以及更大的功率密度的sic材料在功率半导体领域得到了广泛关注。sic材料...
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