一种基板玻璃退火炉区域的微压差控制方法、系统及装置与流程技术资料下载

技术编号:34173441

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.本发明属于空调系统区域微压差控制技术领域,具体涉及一种基板玻璃退火炉区域的微压差控制方法、系统及装置。背景技术.现有技术的退火炉空调控制系统的采用传统的固定频率送风,控制冷冻水回水管上电动调节阀的降温的模式,只满足室内外压差由新风电动调节阀自动调节,无法满足铂金通道对退火炉区压差和bod区对退火炉区压差的自动调节的工艺要求,而现有技术中tft-lcd玻璃基板退火炉生产区域的压差有严苛的控制范围,如压差等参数发生超限,会影响基板玻璃成型工序良品率下降,可能会基板玻璃引发翘曲、应力不良、par...
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