技术编号:34175093
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于物联网技术,特指一种基于车间物联网的平面研磨管控系统。背景技术.超高精度平面研磨工艺是制造业中的先进基础工艺,是光学玻璃晶片、蓝宝石衬底、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等精密基础零部件加工的关键核心技术。现有技术中,超高精度平面研磨工艺具体可采用研磨测频仪实现研磨过程中的自动化测频,诸如,北京三禾泰达技术有限公司的alc-型和alc-型研磨测频仪,该仪器采用基于美国transat公司的研磨测频技术。.但是,现有研磨测频仪只是作为一台独立的测量仪器,...
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