技术编号：34236040
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种臭氧产生装置。背景技术.产生臭氧气体的臭氧产生装置广泛应用于半导体的制造工艺等。在专利文献的臭氧产生装置中，记载了通过反馈控制来控制臭氧产生装置的电源输出这一点。.专利文献：日本专利公报第号发明内容.－发明要解决的技术问题－.在如专利文献记载的反馈控制中，比较设定臭氧浓度和检测臭氧浓度，使臭氧产生装置的电源输出进行增减，以使检测臭氧浓度接近设定臭氧浓度。但是，在没有充分考虑流过臭氧产生部的气体流量的情况下，有时不能通过反馈控制将电源输出调节为最佳。...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。