技术编号：34244522
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型属于半导体制造技术领域，尤其涉及一种掰边机构。背景技术.随着新能源发电，电动汽车等应用的快速兴起，半导体设备的需求持续拉升。半导体设备，即在芯片制造和封测流程中用到的设备，在整个芯片制造和封测过程中，会经过上千道加工工序，其中dbc载板在生产过程中需要一种掰边工艺。.目前大多数工厂采用人工手动将dbc载板的工艺边沿切割线掰断，手工沿切割线掰断工艺边，由于手工在对工艺边进行掰边时，力量难以控制，容易造成dbc载板板侧面常出现毛刺、缺口，以及未完全掰断等不良现象。为此提出一种掰边机...
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