技术编号：3425979
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种集成的蒸气和液体相反应剂分配设备，该设备具 有多个容器和多个载体或惰性气体供应/蒸气或液体相反应剂输送歧管，以用于连续分配例如前体的蒸气或液体相反应剂，从而在半导体 材料和器件的制造中沉积材料。 背景技术用于半导体和制药工业的高纯度化学品需要特殊包装以便在保存过程中保持其纯度。与空气和/或空气中的湿气进行反应的化学品尤 其如此。这种高纯度化学品通常在例如发泡器或安瓿的容器中供应。现代化学蒸气沉积和原子层沉积工具利用发泡器(bubbler)或安...
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