技术编号:34265526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及射频电源技术领域,特别涉及一种可调宽频的射频电源。背景技术.射频电源是可以产生固定频率的正弦波电压,频率在射频范围(约khz~ghz)内、具有一定功率的电源。射频电源已广泛应用于半导体工艺设备;led与太阳能光伏产业;科学实验中的等离子体发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。.传统射频电源,是可以产生固定频率的正弦波、具有一定功率的电源,为定频的射频电源。传统的定频射频电源采用石英晶体震荡器等产生固定频率(一个或多个频点)的信号源,例如.mhz,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。