技术编号:34268864
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种倍频贝塞尔激光选择性刻蚀加工石英振梁谐振器的方法,属于飞秒激光应用技术领域。背景技术.石英振梁加速度计是一种依靠石英晶体压电效应,以力敏石英振梁谐振器作为核心敏感元件的加速度传感器件,具有直接输出数字信号,无需数模转换,且结构简单,体积小,高灵敏度,高频率稳定性等特性,是惯性仪表的重要组成部分。其核心部件为石英谐振梁,其工作原理为利用质量块将被测加速度转化为惯性力作用于谐振梁上,改变谐振梁的谐振频率,利用谐振电路检测谐振频率变化并对外输出数字信号。.石英振梁加速度计谐振器的...
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