技术编号：3430470
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种碳的沉积，特别涉及一种。背景技术目前制备碳纳米管的工艺中，普遍采用直流辉光放电(射频、微波激励等)方式分解原料气体和对生长衬底加热以保证生长衬底所需的温度，其缺点是分解效率低，能耗高。发明内容本发明的目的就在于提供一种利用紫外光子分解原料气体，具有分解效率高、能耗少的。本发明的技术解决方案是将用于作生长衬底的硅片经超声清洗后，预沉积一层催化纳米粉，把该衬底置入沉积腔内，将沉积腔内抽真空到≤10Pa后通入原料气体包括氢气、甲烷(或其它含碳气体化...
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