技术编号:34306149
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种ti辅助定向生长自下而上制备纳米线阵列器件的方法技术领域.本发明涉及紫外探测领域与纳米材料技术领域,具体涉及一种利用金属ti在化学气相沉积(cvd)法中辅助定向生长zno纳米线阵列,实现自下而上自组织制备纳米线阵列功能与智能器件的方法。背景技术.目前纳米器件的制备方法主要有“自上而下”与“自下而上”.两种,其中自上而下的方法通常通过光刻、离子注入等工艺将氧化锌原材料制备成一维纳米结构,它依靠工艺的先进性来制备稳定的氧化锌纳米线,因此可靠性和重复性十分依赖成本较高的设备;而自下而上的方法...
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