技术编号：3438895
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及生产高纯度的电子级硅的方法。更具体地说，本公开涉及通过含硅气体在种子粒子(seed particle)上通过流化床反应器中的分解进行化学气相沉积来生产高纯度硅珠的方法。附图说明图1显示了硅纯化工艺的一个实施方案。图2显示了用于硅纯化的流化床反应器的一个实施方案。图3显示了如本文中所公开的流化床反应器的一个实施方案的特写横截面。详细说明多晶硅可用于生产电子元件和太阳能电池板构造。生产多晶硅的一种传统方法是进料包含氢和硅烷(SiH4)的混合物或进料包...
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