技术编号:34390894
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。gan器件用陶瓷基板及其制备方法和gan器件及其制备方法技术领域.本发明涉及gan器件技术领域,尤其涉及一种gan器件用陶瓷基板及其制备方法和gan器件及其制备方法。背景技术.功率器件本来是属于半导体产业中的分立器件子类别,但随着制造工艺的不断提升,目前有部分产品可以与集成电路复合生产。自功率ic出现以后,功率半导体市场从单一的功率器件产品,丰富为功率器件、功率集成电路产品并存,而又由于各代功率半导体产品在自身结构体系内不断迭代、在不同的应用领域及生产成本方面各有优势,当前整个功率半导体市场...
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