技术编号：3439613
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请要求2009年4月15日提交的美国临时申请61/169414号的优先权。 背景技术本发明描述了用于制备氯化的硅烷或氯代硅烷例如，举例来说，单氯硅烷或二氯 硅烷的方法。具有低氯含量的硅烷是用于生产含有_SiH3或-SiH2-部分的功能化硅烷的理 想前体。功能化硅烷的性质已经证明是可以通过其取代基的变化高度可调的，且在例如沉 积可用于制备微电子器件的二氧化硅或氮化硅薄膜方面找到不断增长的应用。虽然单氯硅烷这种氯代硅烷通过三氯硅烷的歧化反...
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