技术编号：3442081
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种具有硅棒预热器的磷检炉。 背景技术多晶硅产品质量情况是通过区熔拉制成单晶(通称“磷检”)后，用国标规定的方 法测得电阻率，寿命和导电型号，多晶硅产品的纯度在8N ION之间。在这过程中，任何的 杂质都会影响检测的准确性，误导多晶硅的产品质量。目前在区熔拉制单晶硅过程中，通用 的预热方法是采用钼丝缠绕检验棒，高频加热钼丝，通过传热预热检验棒。由于在这个过程 中，钼丝温度很高，达70(TC 1600°C，金属杂质蒸发，易对检验棒形成表面沾污，...
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