技术编号：3443618
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种使用剧毒危险品高纯度三氯氧磷时所用的鼓泡装置。 背景技术高纯度的三氯氧磷(99. 9999% 99. 99999% )是生产制造光纤预制棒的主要原材料之一，也是集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺中的主要原料，被广泛运用于光伏、IC产业。但其属于强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应的无色透明化学品。目前在高纯度三氯氧磷使用时主要是直接使用石英源瓶通入高纯氮气，利用高纯氮气作为载气将三氯氧磷带出，其缺点是不安全、不可靠...
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