技术编号：3443750
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明多晶硅生产领域，具体涉及。背景技术改良西门子法为生产多晶硅的主流工艺，约占全世界总产能的80%。该方法 是用氯和氢合成氯化氢(或外购氯化氢)，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢 硅，然后对三氯氢硅进行分离精制提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应 生产高纯多晶硅[《改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨》，杨涛，贵州化工，2009年 6月，第34巻第3期，P7-11]。 在氯硅烷多级连续精馏过程中，经过一次除去低沸物和一次除去高沸物以后的...
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