技术编号：34439361
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及分选机技术领域，特别涉及一种真空吸料组件及分选机。背景技术.现有技术中，为提高晶圆的拾取效率，一般采用在转盘的外周壁上周向向阵列安装多条间隔抽真空吸嘴，用于拾取晶圆。转盘内部开设有与每一抽真空吸嘴连通的真空通道，然后通过气滑环对真空通道抽真空，该方案中，通过气滑环对真空通道抽真空处理时，结构复杂，整体的安装难度大。或者是，为保证抽空针度，转盘的下表面直接与抽真空装置相抵接，如此，电机驱动转盘转动吸料时，转盘与抽真空装置之间的摩擦太大，导致转盘容易损坏，使用寿命低。实用新型内容...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。