技术编号：3444056
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种降低多晶硅合成精馏系统负荷的装置。 背景技术在多晶硅的生产过程中，精馏塔、氢化塔、还原塔产生的釜液分别通过管道进入回收三氯氢硅储槽中，再通过合成精馏系统对三氯氢硅进行回收利用，以降低生产成本。这种回收装置致使合成精馏系统始终处于满负荷生产的状态，导致操作弹性下降，除杂能力降低，影响产品的质量。实用新型内容本实用新型的发明目的在于针对在多晶硅的生产过程中，釜液通过管道进入回收三氯氢硅储槽中，再通过合成精馏系统对三氯氢硅进行回收利用，致使合成...
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