技术编号：34441832
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种基于位置传感器的可容错对位方法、系统、设备及介质。背景技术.现有技术中，普遍使用面对面的传感器并将晶圆旋转所产生的亮暗条纹所记录，通过条纹的间隔距离得到晶圆圆心的偏移量，进一步对其进行位置的校正。这样做的缺点有两个，首先传感器为面对面型的传感器较为昂贵，相比于传统的点对点传感器，这无疑增大了成本；其次，当晶圆尺寸大小发生变化时，需要根据其尺寸移动该传感器，所以额外需要设计一个模块对传感器进行移动，这也增大了生产成本。.此外，通过多个点对点传感器阵列求...
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