技术编号：34461551
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及流速传感器技术领域，尤其是涉及一种柔性量热式矢量流速传感器及其制备方法。背景技术.气流速度是一项重要的流场参数，在环境监测、气流调节、无人机飞行控制等多个领域中，空气流速矢量的精确感知都具有十分重要的意义；随着工业的发展，许多小型设备如便携式空速计、微型无人机等对流速矢量的精确检测提出了更高的需求；传统的流速测量技术如桨叶式风速计、超声波风速计、皮托管等由于其体积大，非柔性而难以在小型设备上实现灵活安装，因此基于mems工艺的热式流速传感器以其体积小、稳定性高、便于携带、灵敏度高...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。