技术编号：3446905
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅制备，更具体地，本发明涉及。背景技术我国现阶段多晶硅项目エ艺技术85%以上都属于西门子エ艺技木，该エ艺技术中，ー个很重要的环节是四氯化硅冷氢化生产三氯氢硅。在改良西门子法生产多晶硅的过程中，每生产I吨多晶硅有将近20t的四氯化硅副产物产生，ー个2000吨多晶硅エ厂每年则产生40000多吨四氯化硅。常温下四氯化硅为液态，不宣储运。同时四氯化硅的市场容量有限，这都造成了四氯化硅处理困难的局面。随·着多晶硅产业化规模的扩大，四氯化硅副产物的处理难...
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