技术编号：3447533
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于，具体涉及一种以氟气和金属钛为原料制备四氟化钛的方法。背景技术四氟化钛在微电子工业中用作刻蚀剂、在石化行业中用作催化剂。四氟化钛为有吸潮性的白色粉末，分子量为123. 861，升华点为284°C，相对密度2. 798。常用的制备四氟化钛的方法如下 四氯化钛(TiCl4)与氟化氢(HF)反应生成四氟化钛(TiF4),反应式为TiCii +AHF -^TiF^ +AHCi 该方法的过程以四氯化钛和氟化氢为原料制备四氟化钛，将50%的四氯化钛按化...
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