技术编号：3447969
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。背景技术高纯磷化锌是一种II一V族半导体材料，禁带宽度1. 5ev。近年来磷化锌材料正受人们高度关注，同时砷化镓、磷化铟等化合物半导体是现代无线通信、光通信领域中不可或缺的半导体材料。而磷化铟等器件工艺中，往往采用高纯度的磷化锌作为扩散源。磷化锌是当前各国正积极投入应用研究的半导体材料之一，包括在太阳能电池、单维纳米器件上的应用研究，因此随着其应用领域的不断扩大，对磷化锌材料的需求也将会大量增加，发展前景乐观。现有技术有两种技术方案一种是燃...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。