技术编号:34514955
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种光纤mems声压传感器技术领域.本实用新型涉及光纤声压传感器技术领域,尤其涉及一种光纤mems声压传感器。背景技术.光纤声压传感器作为一种区别于传统电学声压传感器的新型声压传感器,逐渐走入大家的视野。光纤中的多种参量可以实现声压传感,例如可以通过改变光纤中传输光的光程来进行声压调制,同样可以利用光纤光栅的反射波长和反射光强变化进行声压测量。光纤传感器具有灵活的传感结构设计方案、极大的复用容量和准分布式长距离测量潜力的特点,加上光纤自身细小、敏感、制作方便,不需要复杂的波导结构加工,同时由...
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