一种多晶硅还原炉控温节能系统的制作方法技术资料下载

技术编号:3451789

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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉控温节能系统,包括三氯氢硅集中汽化器、氢气预热器、管道静态混合器、还原炉、硅粉过滤器、尾气控温冷却器;所述氢气预热器(2)连接到所述管道静态混合器(3),所述三氯氢硅集中汽化器连接到所述氢气预热器管程;所述管道静态混合器连接到还原炉;所述还原炉(4)尾气出气口连接到所述尾气控温冷却器壳程高温气相入口,所述尾气控温冷却器壳程低温气相出口连接到所述氢气预热器壳程气相入口。本系统使得进料组分均匀、进料温度稳定可控,热能利用充分,合...
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