技术编号:34554180
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及晶圆侦测的领域,尤其是涉及一种晶圆侦测系统及方法。背景技术.湿法槽式清洗设备对单位时间内达成高效率的晶圆传输尤其重要,以槽式清洗设备为例,晶圆机械性移动装置是一种晶圆传递系统装置,其晶圆传输与导片模组所构成的装置在实际进行晶圆传输,必须有效性的达成高效率的晶圆传递。在晶圆或是晶圆盒传递的过程,通常需要透过特定的传输过程的衔接动作进行传递,在传递的过程需要面临以下两种实际状况:.入料晶圆盒将晶圆盒替换到清洗用的晶圆盒进行清洗;.入料晶圆盒将晶圆盒内晶圆批量取出进行清洗;.基于...
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