技术编号：34577297
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及半导体硅片生产技术领域，具体地说，涉及一种可等距调节的半导体硅片夹持器。背景技术.半导体单晶硅片是半导体产业链的上游，是制作芯片的核心材料，贯穿了芯片制作的全过程，半导体硅片的质量和数量制约了下游终端领域行业的发展。在生产过程中应尽量地保证硅片完整且避免在表面产生擦伤、划伤。单晶硅片在不同的生产环节之间通过高分子材料(聚丙烯或氟材料)的花篮进行存放，在酸腐蚀阶段则需将多枚(约枚)放置在腐蚀笼中，在有些生产环节则需放置在石英舟中进行化学气相沉积、退火或氧化等。.硅片夹持器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。