一种液相法生产高纯电子级氟化铵蚀刻液的方法技术资料下载

技术编号:3458797

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本发明涉及一种氟化铵的生产方法,特别涉及。背景技术氟化铵系一种无色叶状或针状结晶,是一种重要的电子化工材料。传统的电子工业专用氟化铵的生产工艺是在塑料容器内投入规定量的氢氟酸,在水冷却下,缓慢通入氨气,至反应液的PH达到7左右。待反应液冷却后,在搅拌下用氢氟酸校正酸度,接着通过结晶分离脱水,得到氟化铵成品。用该工艺生产电子专用氟化铵,生产周期长,约需14天,生产时排入大气中的氨气和氟化氢气体较多,环境污染严重,而且母液处理能耗大。且技术指标中,产品的酸度不...
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