一种激光振镜的控制方法及控制装置与流程技术资料下载

技术编号:34602812

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.本申请涉及激光振镜技术领域,尤其涉及一种激光振镜的控制方法及控制装置。背景技术.激光振镜是一种高精度、高速度和高重复性的光学扫描器,广泛应用于激光材料加工、生物医疗检测、激光投影与显示、半导体加工等领域。.在激光清洗装置中,激光器发出的激光束发射到反射镜上时,大部分的光束能够被反射镜反射到待加工物体上,但是还有少部分的光束会被反射镜所吸收并转化成热量,同时,反射镜和驱动反射镜摆动的电机通常都设置在较为密闭的壳体环境中,从而导致振镜整体的散热效果较差。发明内容.有鉴于此,本申请的目的是为...
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