音叉型振动片、音叉型振子及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:34605600

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音叉型振动片、音叉型振子及其制造方法.本申请是申请日为年月日,申请号为.,发明名称为“音叉型振动片、音叉型振子及其制造方法”的发明专利申请的分案申请。技术领域.本发明关于一种用作各种电子机器的时钟源的音叉型振子、其制造方法及构造音叉型振子的音叉型振动片。背景技术.构造音叉型振子的音叉型振动片例如像专利文献所揭示,通过光微影步骤及蚀刻步骤于水晶等晶圆上形成多个音叉型振动片的外形,并于其表面形成电极膜,且于音叉臂部的前端侧形成成为频率调整用的重量部的金...
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