一种半导体功率器件特性的版图结构仿真设计方法与流程技术资料下载

技术编号:34617106

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.本发明涉及半导体仿真技术领域,特别涉及一种半导体功率器件特性的版图结构仿真设计方法。背景技术.目前,半导体技术不断地发展到更小的特征尺寸,例如纳米、纳米甚至更小。集成电路(ic)设计和制造技术已遭遇瓶颈,需要更多的设计调整,还需要设计和制造之间的互动。.现代器件的精确仿真需要考虑在光刻和蚀刻工艺之后实际器件几何形状的复杂性,尤其是当沟道长度缩短到nm以及以下的时候。器件的性能被认为与常规ic设计流程中被设计师所期望的大相径庭。传统的设计缺乏从制造方面对光刻效应以及图案化几何操...
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