技术编号:34662957
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种高spc含量的含氢碳基薄膜及其制备方法技术领域.本发明涉及金属表面改性技术领域,尤其涉及一种高spc含量的含氢碳基薄膜及其制备方法。背景技术.富spc含氢碳基涂层中h含量相对较高,有别于传统的类金刚石(dlc)薄膜,但仍然是一种spc键形成空间网络、并含spc的非晶复合结构组成的材料,同其它dlc一样具有优异的物理、力学、化学、光学、电学、热学性能,尤其具有高硬度、高阻值、低摩擦系数等性能,在先进制造业的工模具、齿轮、轴承、密封、化工等有苛刻的耐磨耐蚀需求领域通过碳基涂层改性元...
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