技术编号：34678437
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种半导体结构及其形成方法。背景技术.在数字模块级设计中，需要引入电容元件。这些电容会被连接在电源导电层(vss/vdd)，用来实现稳压滤波的功能。通常这些电容单元会在模块级逻辑功能的布局布线完成后，通过软件自动填充进模块的空隙之中。.在现有技术中，需要单独设计电容元件的半导体结构，且电容的调节只能是电容元件的电容值的整数倍。.然而，在上述方法中，随着节点尺寸的减小，单独电容元件半导体结构变得难以实现。发明内容.本发明解决的技术问题是一种半导体结构及...
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