具有对准的场板的晶体管和其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:34680145

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.本文所描述的主题的实施例大体上涉及晶体管装置,并且更具体地说,涉及半导体功率晶体管的场板结构。背景技术.高功率场效应晶体管(fet)装置应用于广泛多种电子组件和系统中。多年来,在提高用于在射频(rf)通信系统中提供放大的功率fet的增益、效率和其它特性方面取得了各种进展。例如,一个此类进展是在rf功率fet的栅极近处包括源极连接的场板,这可有助于增大击穿电压和减小高场捕集效应。.场板的长度是用于确定rf功率fet的总体特性和性能的重要参数。例如,当操作频率增大时,最优场板长度减小。当所要...
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