超声波发生器、超声系统、控制方法及其发生装置与流程技术资料下载

技术编号:34681108

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.本发明涉及半导体封装技术领域,尤其涉及一种超声波发生器、超声系统、控制方法及其发生装置。背景技术.引线键合(wirebonding)是半导体封装过程中的一个重要环节,也是最常见、最有效的一种连接方式。引线键合使用细金属线,并利用热、压力、超声波能量使金属引线与基板焊盘紧密焊合,实现芯片与基板间的电气互连和芯片间的信息互通。.在引线键合时可以使用金丝球引线键合机实现,金丝球引线键合机里具有超声系统,该超声系统由超声波发生器和换能器组成。超声波发生器用于向换能器输出电能,换能器把电能转换成机...
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