技术编号:3469010
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多晶硅氯硅烷取样装置涉及领域本实用新型涉及多晶硅的生产设备,特别是一种多晶硅氯硅垸取样装置。技术背景在多晶硅的生产过程中,传统的工艺结构是将氮气吹扫、氯硅垸冷却、取样 分别单独进行,因为没有一体化设计的取样装置,这样三个步骤分开进行比较浪 费时间,效率不高,非常不方便。如果能将氮气吹扫、氯硅烷冷却、取样三个步骤通过一个设备一体化实现, 那么将是多晶硅生产的一个重要突破。 实用新型内容本实用新型为解决上述问题提供了一种多晶硅氯硅垸取样装置,能够实现实 现氮气...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。