技术编号:34756487
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及精密视觉测量技术领域,特别是涉及一种基于相位偏折术的光学性能检测方法、介质及设备。背景技术.相位偏折术也即反射式相位测量偏折术,是一种大动态范围,不需要补偿镜就能对反光光学表面的面形误差、斜率误差、曲率误差进行非接触式面测量的视觉测量方法。然而对待测光学表面进行测量后,无论是对其面形误差分析,还是斜率误差、曲率误差等分析,其最终目的都是希望鉴别当前生产状态下的被测光学表面用在光学系统中,是否能够达到系统要求的像差、畸变、分辨率等光学性能设计指标。.现有技术中,利用透射式相位偏折...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。