技术编号:34764435
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及一种含硅烷尾气中硅烷回收系统及方法,属于高纯多晶硅制备领域。背景技术.甲硅烷是流化床法制备粒状多晶硅和改良西门子法制备棒状多晶硅的基础原料,甲硅烷通常也称硅烷,在硅烷气制备和硅烷气精馏提纯(如中国专利)过程中有部分尾气排放,排放的尾气中主要为氢气,并含有少量硅烷以及甲烷等含碳化合物杂质,这部分尾气直接处理会导致硅烷浪费以及氢气的浪费。发明内容.目的:为克服现有技术的不足,本发明提供了一种含硅烷尾气中硅烷回收系统及方法,将膜分离过程和冷凝系统进行组合,从...
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