技术编号：34798692
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及单晶金刚石加工技术领域，尤其涉及一种单晶金刚石的抛光装置及方法。背景技术.单晶金刚石的特点是硬度和耐磨性，因此单晶金刚石片状晶体及多晶金刚石片状晶体在半导体器件、光学窗口、电子器件、导热衬底等领域有较为广泛的应用前景及研发方向，但是要使金刚石材料得到充分的利用，对其进行抛光处理使其表面粗糙度达到使用要求是至关重要的。.传统的抛光方法通常采用机械抛光，即通过电机驱动抛光盘在单晶金刚石片状晶体的外表面旋转，以达到抛光打磨的目的，抛光盘在旋转时，会与金刚石片状晶体接触，导致产生大量灰...
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