技术编号:34846366
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及金刚石合成装置技术领域,更具体地说,它涉及一种利于气相沉积法合成单晶金刚石的衬底。背景技术.金刚石是一种性能优越的矿物材料,在很多领域都有广泛的应用,化学气相沉积法是合成单晶金刚石的主要方式之一,通过解离含碳的混合气体,活性炭原子在衬底(晶种)上沉积形成金刚石,化学气相沉积法合成单晶金刚石工艺中,温度是晶体合成重要影响因素,在晶体的合成过程中,衬底表面的温度无法直接测得,常使用红外测温设备进行非接触式的温度测量,被测物的红外放射率直接影响了测温的结果,现有的衬底不便于对单晶金...
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