技术编号:34875903
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及导流筒领域,更具体地说,涉及一种新型导流筒。背景技术.导流筒作为单晶炉的一个重要部件,在单晶硅的生产中起到了重要的作用,单晶炉的导流筒对晶体生长有很大影响。使用导流筒可以减少炉体上部的氩气流动涡胞,进而减少si在单晶炉上部的沉积,从而确保拉制的单晶硅棒具有很高的质量;.然而,现有的导流筒对氩气气流的流速没有什么实质性的帮助,进而使得单晶生长固液界面存在着较多的潜热而无法被带走,使得单晶氧含量较多,进而造成单晶硅的质量没有保障,且使得生长的速率也受到一定的限制。实用新型内...
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