技术编号:34886910
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种平面ito靶材叠烧方法技术领域.本发明涉及靶材烧结技术领域,尤其涉及一种平面ito靶材叠烧方法。背景技术 ito靶材属于铟锡复合氧化物陶瓷,是一种重要的光电功能材料,常作为磁控溅射靶材在玻璃、塑料等基板材料上制备透明导电膜,用于生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备。目前,ito靶材有二种,一种是平面氧化铟锡靶材,一种是旋转氧化铟锡靶材,ito平面靶材,经过一次二次成型后需要进行烧结,随着现在生产液晶显示器、触摸屏等平板显示设备产业不断兴起,平面ito需求量不断增加,...
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