技术编号:34973641
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及光电技术领域,尤其涉及一种光学薄膜元件及其制备方法。背景技术.光学薄膜元件是高精密光学系统的重要组成部分,其性能好坏直接影响光学系统的质量。在光学薄膜元件的制备过程中,镀膜工艺产生的粒子堆积会不可避免地引入应力,而应力会使光学薄膜元件的面形发生变化,从而降低光学薄膜元件的表面面形指标,进而降低器件的性能和质量。发明内容.本发明提供一种光学薄膜元件及其制备方法,用于改善现有技术中因应力导致光学薄膜元件的表面面形指标降低的问题,从而大幅提升器件的性能和质量。.本发明提供一种光学薄...
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