一种适用于柔性电子器件的曲面转印装置及方法与流程技术资料下载

技术编号:34975735

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.本发明属于半导体器件制造领域,更具体地,涉及一种适用于柔性电子器件的曲面转印装置及方法。背景技术.随着科技的不断进步,柔性电子器件逐渐进入人们的视野。在柔性电子器件的许多应用中,需要将大面积的柔性电子器件阵列集成到非可展曲面上,比如将铜导线布置在球状衬底上以形成球面天线,将半导体感光元件集成到球面上以形成仿人眼相机,以及形成表面分布有低频电极的医用椭球气囊等。由于柔性曲面电子具有大面积、可变形、轻质和非平面等优势,正展现出越来越强大的发展潜力。.曲面转移印刷技术是一种先通过传统的蚀刻或光...
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