技术编号：35052965
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种集成电路虚拟制造方法及系统。背景技术.集成电路制造作为电子制造产业的核心，具有重要的意义。现有的集成电路制造过程通常需要使用较多类型的制造设备以及涉及复杂的制造工艺，需要反复做制造实验且达到所需要的制造精度后才能正式执行集成电路制造，导致集成电路制造需要前期消耗很长的生产准备时间以及较大的投入资金。.随着虚拟制造技术的不断发展，如何将虚拟制造应用到集成电路制造中，降低前期制造实验成本以及提高后期的制造精度，已经成为当前该集成电路制造领域需要解决的一...
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