技术编号:35098726
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型主要涉及升降机构的技术领域,具体为一款晶圆卡塞自动升降机构。背景技术.目前寸晶圆卡塞装片升降的作业都是由人工完成,人工作业费时费力,且效率低下,并且容易出错;.根据申请号为cnu的专利文件可知,该产品包括固定架、丝杆升降机构、连接板、活动架、卡塞料架、两个定位气缸及两个张紧气缸,所述丝杆升降机构通过连接板与活动架连接,上盖板底部及下盖板顶部设有用于夹持玻璃板的插槽,定位气缸分别设于活动架顶端两侧,定位气缸的活塞端与上盖板连接,张紧气缸设于活动架底端两侧,且张...
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