技术编号：35124880
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明属于半导体激光技术领域，具体地说，尤其涉及一种采用月牙型截面辐射块阵列的光栅天线。背景技术.全固态激光雷达opa可以大幅减小系统体积、重量、功耗和成本，是激光雷达发展的必然趋势，基于硅基光电子技术的光学相控阵促进了集成化固态激光雷达的发展，硅基光电子技术具备的高集成度、与cmos工艺兼容、光电单片集成等特性可以为大规模、低成本量化生产硅基激光雷达芯片提供广阔的前景。但是，由于互补金属氧化物半导体cmos工艺的兼容性以及硅和二氧化硅包层材料之间的高折射率对比度，导致光束发散角和视场扫描...
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