技术编号：35144826
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及单晶炉的技术领域，尤其涉及一种单晶炉浸硅预警系统。背景技术.单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备；在作业过程中，拉晶一共分为熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾、加料、复投等多个阶段，在不同阶段水冷屏会进行上升下降；.单晶炉包括水冷屏、导流筒、炉体和升降装置，升降装置设于炉体外部，水冷屏和导流筒设于炉体内部，导流筒与水冷屏连接，升降装置与水冷屏连接以带动水冷屏和导流筒升降。.然而，水冷屏距离液面较...
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